DRY COOLING COIL의 개요
반도체 공장에 있어서 그 FAB 내부에서 요구하는 온·습도조건은 그 생산 제품의 정밀도와 비례하여 극히 높은 수준의 정밀제어가 요구 되어진다. FAB에 공급되어지는 공기는 FAB으로 부터의 Return Air와 Out Air로 부터 공급되어지는 신선 공기를 Mixing 하여 Dry Cooling Coil은 Chilled Water와 Supply측의 2-Way Control V/V를 이용하여 FAB이 요구하는 실내 온도조건을 지속적으로 유지, 공급해주는 열교환 장치이다.
DRY COOLING COIL의 특징
1) DRY COOLING COIL 설계시 반드시 공기와 물의 열교환 방식은 온도분포가 우수한 평행류 방식으로 설계할것.
적용기준
구분 | 적용분야 |
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대향류형 | • 일반공기조화기 • DRY COIL |
평행류 | • 온도 CONTROL용 • DRY COIL |
2) COIL CIRCULT 구성은 반드시 COIL 표면에 온도분포가 일정하게 배열, 유지될 수 있도록 FULL CIRCUIT를 구성 하여야 한다.
적용기준평행류•온도 Control용 •Dry Coil평행류•온도 Control용 •Dry Coil
구분 | FULL CIRCUIT | HALF CIRCUIT | DOUBLE CIRCUIT |
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유속 | 설계유속과 일치 | 설계 유속의 2배 | 설계 유속의 1/2배 |
열교환 능력 | 설계치와 동일 | 설계치보다 높다 | 설계치보다 낮다 |
TUBE 부식성 | 설게치와 유사 | 설계치보다 짧다 | 설계치보다 길다 |
온도분포 | 등분포 | 온도 편차가 존재 | 온도 편차가 존재 |
1) Coil ASS’Y
Ⅰ. COIL ASS’Y의 제작 기준은 SHOP DWG 및 설계 기준에 준하여 제작함을 원칙으로 한다.
Ⅱ. COIL ASS’Y의 길이, 높이및 대각공차는 KS 에서 지정한 일반공차에 준하여 제작한다.
2) FRAME
Ⅰ. COIL FRAME 재료 및 규격
– SQUARE PIPE : 150 x 100 x 4.5t, 75 x 45 x 3.2t 100 x 50 x 3.2t, 50 x 50 x 2.3t
– STEEL PLATE : 12t, 9t, 6t등 (TOLERANCE K.S. 일반공차 2급 기준)
* 표면처리 SANDBLASTING & EPOXY 상, 하도(도막두께 50μm이상)
Ⅱ. 제작 FLOW
설계상 지정된 기준선을 FRAME 내측을 기준으로 측정하며 이때 건축상의 통풍구와 FRAME측과의 수직, 수평치수를 반복실측한다.
이때 설계치수와 현장실측 치수가 상이할 경우 하기와 같은 DEVIATION SHEET를 작성 승인을 득한후 MARKING에 착수한다.